長さ $N$ の数列 $A_1,A_2,...,A_N$ があります。この数列に対し、次の操作を行います。

1. まず、変数 $x$ を持ちます。これは最初 $0$ です。また、変数 $i$ を持ちます。これは最初 $1$ です。
2. $x$ を、「 $x$ と $A_i$ のbitごとの論理和」もしくは「 $x$ と $A_i$ のbitごとの排他的論理和」で置き換えます。
3. もし、 $i=N$ なら操作を終了します。そうでなければ $i$ に $1$ を足し、操作2に戻ります。

ここで、 $N$ 回の操作 2 でそれぞれ $x$ をどちらで置き換えるかによって、異なる操作を $2^N$ 通り考えることができます。この全てに対する最終的な $x$ の総和を $10^9+7$ で割った余りを出力してください。

・入力は全て整数
・$1\leq N\leq 2×10^5$
・$0\leq A_i\leq 10^{18}\ (1\leq i\leq N)$

入力は以下の形式で与えられます。

$N$
$A_1\ A_2\ ...\ A_N$

全ての異なる操作の方法に対する、最終的な $x$ の値の総和を $10^9+7$ で割った余りを 1 行に出力してください。